超聲波清洗器清洗芯片的方法:
以下是芯片表面的清洗方法:
預(yù)清洗:用去離子水利用超聲波清洗器對(duì)芯片進(jìn)行預(yù)清洗,去離子水的溫度為50~60度。
堿洗:芯片置于堿性溶液中利用超聲波進(jìn)行清洗,堿性溶液的溫度為80~90度,較佳地,該堿性溶液可為氫氧化鈉溶液,濃度為2%~5%,清洗時(shí)間為5~10分鐘,在此步驟中,氫氧化鈉溶液的溫度不宜過(guò)高,如20~25度為佳。
有機(jī)溶劑清洗:芯片置于異丙醇和水的混合液中利用超聲波進(jìn)行清洗,時(shí)間為5~10分鐘,該步驟可有效去除芯片表面的有機(jī)殘留物。
酸洗:配制檸檬酸和去離子水的混合液,混合液的pH值為5~6。芯片被置于到該酸性溶液中,借助超聲波振蕩清洗技術(shù),使芯片表面快速進(jìn)行中和反應(yīng)。
去離子水漂洗:用去離子水漂洗該芯片,漂洗時(shí)間為20~30分鐘,經(jīng)過(guò)漂洗,芯片表面的酸液、堿液等清洗液殘留被漂洗干凈。
碳?xì)淝逑矗涸谏喜降娜ルx子水中加入碳?xì)淙軇^而排除去離子水。
熱焓干燥:將芯片從清洗溶液中取出并進(jìn)行熱焓干燥,該工序利用溫度壓力的變化,降低芯片上的焓值,使殘留液快速蒸發(fā)。